用戶手冊(cè)

維薩拉Vaisala PR-23-MS 半導(dǎo)體工業(yè)折射儀適用于半導(dǎo)體液態(tài)化學(xué)品測(cè)量。該折光儀利用光學(xué)原理測(cè)量溶液的折射率來確定固溶物濃度，因此，可用于測(cè)量多種溶液。緊湊型設(shè)計(jì)方便集成到濕法工作臺(tái)或機(jī)柜里，而無需占用過多空間。內(nèi)置的流通池由純的改性 PTFE 制成，旨在防止金屬和易腐蝕部件與工藝液體接觸。所有接液部件均由純的改性 PTFE 制成。棱鏡材料是藍(lán)寶石。PR-23-MS 可提供連續(xù)的 4-20 mA 或數(shù)字測(cè)量信號(hào)，并在化學(xué)品的濃度不符合規(guī)格要求時(shí)向控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)反饋。PR-23-MS 外形小巧，易于安裝，適用于散裝化學(xué)品配送、使用點(diǎn)化學(xué)品調(diào)配、補(bǔ)液監(jiān)測(cè)應(yīng)用。

應(yīng)用：

• ? 防止錯(cuò)誤的化學(xué)品進(jìn)入制造流程。
• ? 優(yōu)化蝕刻工藝并延長(zhǎng)蝕刻液（例如加熱的 KOH）的使用時(shí)間。
• ? 通常可使晶圓的產(chǎn)量提高 5%，并減少 FEOL 和 BEOL 清洗工藝中清洗化學(xué)品的消耗（例如 SC-1 或 EKC-265）。
• ? 對(duì) CMP 漿料進(jìn)行嚴(yán)格控制，并提高拋光的均勻性。

關(guān)鍵特性：

• ? 標(biāo)稱準(zhǔn)確度為 0.1%（質(zhì)量百分比），例如，鹽酸溶液。對(duì)于由多種成分構(gòu)成的溶液，測(cè)量信號(hào)則作為各成分的校驗(yàn)和。
• ? 光學(xué)核心構(gòu)造光學(xué)器件。
• ? 雙連接：一個(gè)變送器可以運(yùn)行兩個(gè)傳感器。第二個(gè)傳感器可在之后輕松添加。
• ? 過程溫度范圍：-20°C – 150°C (-4°F – 300°F)
• ? 內(nèi)置 Pt1000，快速溫度測(cè)量及自動(dòng)溫度補(bǔ)償功。
• ? ATEX 防爆認(rèn)證，Zone 2，EX II 3 G EEx nA II T4。
• ? FM 防爆認(rèn)證，Class I, Div. 2, Groups A, B, C and D, T6. CSA certified for Class I, Div. 2.
• ? CSA 防爆認(rèn)證，Class I, Div. 2, Groups A, B, C and D, T4.
• ? cCSAus 電氣安全認(rèn)證，傳感器：I 類，污染等級(jí)為3 級(jí)；變送器：I 類，污染等級(jí)為2 級(jí)；安裝類別為II。

主要優(yōu)點(diǎn)：

全數(shù)字化設(shè)備：維薩拉 K?PATENTS® 半導(dǎo)體行業(yè)用折光儀 PR-33-S 用于監(jiān)控工藝流程，可提供連續(xù)的以太網(wǎng)輸出信號(hào)。設(shè)計(jì)緊湊，直接串接在過程管路上。

滿量程下保持準(zhǔn)確穩(wěn)定測(cè)量：折射率測(cè)量范圍為 nD 1.3200–1.5300，相當(dāng)于 0-100%（重量百分比）。對(duì)于高濃度 HF，可選范圍為 nD 1.2600–1.4700。標(biāo)稱準(zhǔn)確度為 R.I.+ 0.0002，通常相當(dāng)于 0.1%（重量百分比），例如：鹽酸、測(cè)量顆粒、氣泡、紊流及 PPM 濃度級(jí)別的微量雜質(zhì)影響。

易于維護(hù)：光學(xué)核心設(shè)計(jì)；無漂移；無需重新校準(zhǔn)；無需進(jìn)行機(jī)械調(diào)節(jié)。