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更新時間:2025-03-13
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產品介紹
數據表
美國Coherent J-50MUV-193 125 μJ 至 250 mJ 脈沖能量傳感器，重復頻率高達 200 pps，光譜范圍為 0.19 至 0.266 μm，有效面積直徑為 50 mm。帶 MaxUV 涂層和擴散器的熱釋電能量傳感器，用于以高達 200 pps 的速度測量 125 μJ 至 250 mJ 的激光脈沖。
這款 J-50MUV-193 能量傳感器采用 MaxUV 涂層和擴散器，以提高最大能量密度，并針對在 193 nm 下工作的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器進行了優化。該傳感器直接在 248 nm 處校準，包括 193 nm 至 266 nm 的光譜補償。它端接在 SmartProbe DB25 電纜中，直接與 FieldMaxII-TOP、FieldMaxII-P、LabMax-TOP 和 LabMax-Pro SSIM 儀表兼容。
大型散熱器 （PN 1123432） 可用于通過提高平均功率能力來擴展 EnergyMax 傳感器的能量和重復頻率。
主要特點
193 至 266 nm 光譜范圍
50 mm 有效區域直徑
125 μJ 至 250 mJ 能量范圍
200 pps 重復率操作
ISO 17025 認證
產品規格
| 電纜類型 | J DB-25 |
| 有效面積直徑 | 50 mm |
| 探測器涂層 | MaxUV |
| 能量范圍 | 125 μJ 至 250 mJ |
| 波長范圍 | 190 nm 至 266 nm |
| 噪聲等效能量 | <4 μJ |
| 最大熱釋電重復速率（每秒脈沖數） | 200 |
| 最大脈沖寬度（微秒） | 86 |
| 最大能量密度（毫焦耳/平方厘米） | 200 （@193nm， 10納秒） |
| 最大能量密度（毫焦耳/平方厘米） | 400 （193 nm，10 ns） |
| 擴散 | DUV |
| 校準不確定度 （%）（k=2） | ±3 |
| 能量線性度 （%） | ±3 |
| 校準波長（納米） | 193 |
| 電纜長度（米） | 2.5 |
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